高速スループットで、面内精度を確保できるモーションコントロール技術を開発・搭載し、パターン変形率を0.005%以内に抑えることに成功。本研究開発は2013年1月に、委託研究開発期間を終了し、同2月に無事、事業化へと移行。
そして現在では大手中間素材メーカー、大手セラミックス関連メーカーなどに採用され、フィルムデバイスの製造に貢献しています。
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高速スループットで、面内精度を確保できるモーションコントロール技術を開発・搭載し、パターン変形率を0.005%以内に抑えることに成功。本研究開発は2013年1月に、委託研究開発期間を終了し、同2月に無事、事業化へと移行。
そして現在では大手中間素材メーカー、大手セラミックス関連メーカーなどに採用され、フィルムデバイスの製造に貢献しています。